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日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵DSP251原理

更新時間:2025-12-27      瀏覽次數(shù):143

日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵DSP251

日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵DSP251

日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵DSP251



DSP系列:緊湊型干式螺桿泵

DSP系列是一款緊湊、輕便且便攜的風(fēng)冷干式真空泵,具備節(jié)能、低振動和低噪音能力。除了電力外,它不需要其他公共設(shè)施。助推級在內(nèi)部時,基壓為0.5 Pa。

DSP251 / DSP501



■ 清潔吸塵器

沒有油流回流到腔室。

■ 免維護

沒有定時齒輪意味著不需要維護潤滑油。

無需更換芯片密封或換油,無需維護。

■ 緊湊型

體積小巧,輕便攜帶。

■ 風(fēng)冷式

除了電之外,不需要其他水電。

■ 高速泵送

旁通管線在接近大氣壓范圍內(nèi)提供高速泵送。

■ 節(jié)能

低功耗設(shè)計。
- SEM
- 分析儀器
- 醫(yī)療器械
- 加速器
- 負載鎖/轉(zhuǎn)移室
氣體排出 - 離子源
- 光刻
- 電子電子槍
- 通用工業(yè)
- PVD
- 研發(fā)



Model
DSP 251
DSP 501
Performance
Pumping Speed
w/o Gas Ballast
L/min
230
500
w Gas Ballast
L/min
200
430
Base Pressure
w/o Gas Ballast
Pa
0.5
w Gas Ballast
Pa
2
Port Dimension
Inlet
-
KF25
KF40
Outlet
-
KF25
Approx. Weight
kg
16
21
Utility
Power Input
Phase
Single Phase
Voltage
V
AC100-230
±10%(50/60Hz)
Power Capacity
VA
450
660
Connector
-
Made by Hirakawa Hutec
CM11
Power consumption
At Base Pressure
W
240
270
Maximum
380
600



電話:TEL

86-010-67868591

地址:ADDRESS

朝陽區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號樓406B

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