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更新時(shí)間：2025-03-04 
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使用激光吸收光譜和可調(diào)諧二極管激光器的原位激光氣體分析儀
工藝氣體中含有的 CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2 O 等分子具有吸收近紅外激光的特性，分子的濃度可以通過(guò)它們的吸收強(qiáng)度來(lái)確定。 由于該吸收帶（波長(zhǎng)）根據(jù)分子的類(lèi)型而變化，因此可以通過(guò)選擇要測(cè)量的分子的吸收波長(zhǎng)來(lái)測(cè)量氣體濃度，而不會(huì)受到其他分子的干擾。 由中央單元內(nèi)置的二極管激光器產(chǎn)生的近紅外波長(zhǎng)激光通過(guò)稱(chēng)為混合電纜的光纜從發(fā)射器傳感器照射到工藝氣體中，并被光電探測(cè)器的光電晶體管的光電晶體管檢測(cè)為電信號(hào)。 然后，檢測(cè)到的電信號(hào)被轉(zhuǎn)換回光信號(hào)，并通過(guò)環(huán)路和混合電纜返回到中央單元。 通過(guò)將照射的激光強(qiáng)度與接收的激光強(qiáng)度進(jìn)行比較，可以測(cè)量待測(cè)氣體成分的濃度。 中央單元包含一個(gè)包含待測(cè)組件的參考單元，該單元不斷進(jìn)行自我校準(zhǔn)。
此外，還監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體激光器的發(fā)光強(qiáng)度，持續(xù)監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體激光器的異常并進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)。 因此，LDS6 不需要使用標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。
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